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湖北氧化硅材料刻蝕平臺(tái) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
理想情況下,晶圓所有點(diǎn)的刻蝕速率都一致(均勻)。晶圓不同點(diǎn)刻蝕速率不同的情況稱為非均勻性(或者稱為微負(fù)載),湖北氧化硅材料刻蝕平臺(tái),湖北氧化硅材料刻蝕平臺(tái),通常...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-01 07:25:08
云南ICP材料刻蝕多少錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
刻蝕工藝去除晶圓表面的特定區(qū)域,以沉積其它材料?!案煞ā保ǖ入x子)刻蝕用于形成電路,而“濕法”刻蝕(使用化學(xué)浴)主要用于清潔晶圓。干法刻蝕是半導(dǎo)體制造中較常用的...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-01 04:22:45
重慶叉指電極真空鍍膜多少錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
在電子束加熱裝置中,被加熱的材料放置于水冷的坩堝當(dāng)中,重慶叉指電極真空鍍膜多少錢,可避免蒸發(fā)材料與坩堝壁發(fā)生反應(yīng)影響薄膜的質(zhì)量,因此,電子束蒸發(fā)沉積法可以制備高...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-01 03:21:24
河南電子束蒸發(fā)真空鍍膜外協(xié) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
為了獲得性能良好的半導(dǎo)體電極Al膜,我們通過(guò)優(yōu)化工藝參數(shù),制備了一系列性能優(yōu)越的Al薄膜。通過(guò)理論計(jì)算和性能測(cè)試,分析比較了電子束蒸發(fā)與磁控濺射兩種方法制備Al...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-01 02:20:59
安徽叉指電極真空鍍膜服務(wù) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
針對(duì)PVD制備薄膜應(yīng)力的解決辦法主要有:1.熱退火處理,薄膜中存在的各種缺陷是產(chǎn)生本征應(yīng)力的主要原因,這些缺陷一般都是非平衡缺陷,有自行消失的傾向,但需要外界給...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-01 02:20:59
天津共濺射真空鍍膜加工廠 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
等離子體化學(xué)氣相沉積法,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行。優(yōu)點(diǎn)是:反應(yīng)溫度降低,沉積速率較快,成膜質(zhì)量好,不容易破裂。缺點(diǎn)是:設(shè)備...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-01 01:22:52
湖北氧化硅材料刻蝕多少錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無(wú)圖形刻蝕。有圖形刻蝕采用掩蔽層(有圖形的光刻膠)來(lái)定義要刻蝕掉的表面材料區(qū)域,湖北氧化硅材料刻蝕多少錢,只有硅片上被選擇的這一部分在...
[半導(dǎo)體材料]2021-01-01 00:33:56
福建氧化硅材料刻蝕價(jià)格 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
氮化硅的干法刻蝕S13N4在半導(dǎo)體工藝中主要用在兩個(gè)地方。1、用做器件區(qū)的防止氧化保護(hù)層(厚約lOOnm)。2、作為器件的鈍化保護(hù)層。在這兩個(gè)地方刻蝕的圖形尺寸...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-31 09:26:58
中山低壓氣相沉積真空鍍膜加工廠商 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
磁控濺射主要利用輝光放電(glowdischarge)將氬氣(Ar)離子撞擊靶材(target)表面,靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜。濺鍍薄膜的性質(zhì),...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-31 08:29:09
佛山半導(dǎo)體材料刻蝕價(jià)錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
刻蝕技術(shù)(etchingtechnique),是在半導(dǎo)體工藝,按照掩模圖形或設(shè)計(jì)要求對(duì)半導(dǎo)體襯底表面或表面覆蓋薄膜進(jìn)行選擇性腐蝕或剝離的技術(shù)??涛g技術(shù)不僅是半導(dǎo)...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-31 07:24:06
河北共濺射真空鍍膜平臺(tái) 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
PECVD生長(zhǎng)氧化硅薄膜是一個(gè)比較復(fù)雜的過(guò)程,薄膜的沉積速率主要受到反應(yīng)氣體比例、RF功率、反應(yīng)室壓力、基片生長(zhǎng)溫度等。在一定范圍內(nèi),提高硅烷與笑氣的比例,可提...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-31 07:24:06
佛山貴金屬真空鍍膜價(jià)錢 廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所供應(yīng)
PECVD,等離子體化學(xué)氣相沉積法是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離,使局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),佛山貴金屬真空鍍膜價(jià)錢,兩種或多種...
[半導(dǎo)體材料]2020-12-31 06:21:52