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詳細說明
晶圓加工減薄機具有以下優(yōu)點:1.通過吸盤上的氣管設計,將吸盤上的吸口**分化,當受力碎裂,無論晶圓從哪個方向裂開,都能夠被吸附,不會因為失去吸力而掉落在桌面上,二次開裂。2.堵頭設計,在不使用或者減少氣管時,堵住吸盤的安裝孔,浙江打磨減薄機多少錢,減少空氣粉塵地進入造成堵塞。3.利用軟膠墊的設計,浙江打磨減薄機多少錢,讓軟膠墊在受到晶圓本身的重力的作用下會自動陷落下去,浙江打磨減薄機多少錢,可適應不同尺寸厚度的晶圓,不會因為晶圓中間厚兩邊薄而發(fā)生吸附力不夠直接掉落的問題。4.氣管上的海綿圈和支撐架設計,在晶圓被吸盤的時候,能適應不同高度,和晶圓緊密結(jié)合,不會漏氣氣密強,吸附能力好,另外,海綿圈頂端面光滑,無摩擦,避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生線性缺陷。立式藍寶石減薄機在目前LED藍寶石生產(chǎn)線上,被公認為目前國內(nèi)極 好的減薄機。浙江打磨減薄機多少錢
藍寶石減薄機是一款用于加工藍寶石、光學玻璃、硅片、石英等晶體材料進行研磨和減橫的機器。該減薄機由吸盤、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿進給組件等組成。吸盤可分為電磁吸盤和真空吸盤,其直徑大小一般為320-600mm。砂輪的大小事根據(jù)藍寶石減薄機直徑大小來定,一般有150-170-210mm的規(guī)格,砂輪的顆粒度是根據(jù)客戶對工藝的要求定制。砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速,可根據(jù)藍寶石減薄機不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。浙江打磨減薄機多少錢臥式藍寶石減薄機一般加工直接在200mm以內(nèi)的工件。
液晶玻璃減薄機操作臺的右端設有電動推桿,電動推桿活塞桿的端部與連接板的右側(cè)面固定連接。利用電動推桿推動連接板,從而推動首先滑塊頂部的夾具,對夾具上夾裝的液晶玻璃進行工位的轉(zhuǎn)移,轉(zhuǎn)移至左側(cè)立板的底部,對液晶玻璃進行刻蝕液的刻蝕,轉(zhuǎn)移至右側(cè)立板的底部,對液晶玻璃進行刻蝕后的清洗。支桿設有四個,且四個支桿均與直角梯形支座斜面相垂直。夾具包括固定設于支桿上的回字形框以及設于回字形框四個邊角內(nèi)側(cè)的通過彈簧連接的直角夾板。利用直角夾板對液晶玻璃的四個角進行夾緊。立板頂部固定氣缸的活塞桿的端部與第二滑塊的頂部固定連接。利用氣缸推動第二滑塊下移,使得噴嘴以及導流板移至液晶玻璃右側(cè)頂部,對液晶玻璃進行刻蝕以及清洗工藝處理。
立式減薄機采用高精密絲桿及導軌組件,驅(qū)動方式是伺服驅(qū)動,可根據(jù)不同材質(zhì)的工件及工藝要求由PLC控制的驅(qū)動模式而相應的改變絲桿的轉(zhuǎn)速,也就是砂輪的進刀速度,速度0.001-5mm/min可調(diào),控制進給精度由高分辨率光柵尺檢測。采用先進的中國臺灣品牌PLC和觸摸屏,自動化程度高,實現(xiàn)人機對話,操作簡單一目了然。設備可檢測磨削扭力、自動調(diào)節(jié)工件磨削速度,從而防止工件磨削過程中因壓力過大產(chǎn)生變形及破損,自動補償砂輪磨損厚度尺寸,可使直徑150晶片厚度減薄到0.08mm厚而不會破碎。藍寶石減薄機絲桿進給組件采用高精密絲桿及導軌組件,驅(qū)動方式為伺服驅(qū)動。
集成電路制造工藝的發(fā)展對硅片等材料質(zhì)量要求越來越嚴格,材料表面的波紋度及厚度只能通過減薄工藝來實現(xiàn),因此減薄機成為必不可少的**設備,減薄機主要由工件吸盤、吸盤主軸及驅(qū)動器組件、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動組件、絲桿導軌進給組件及其他輔助配件構(gòu)成。目前市場現(xiàn)有吸盤可以分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤的大小根據(jù)需求定制。電磁吸盤利用磁通的連續(xù)性原理和磁場疊加原理設計。真空原理是由負氣壓變成零氣壓或正氣壓從而提升吸附產(chǎn)物的原理設計。減薄機在減薄后應對襯底背光進行拋光。上海圓管減薄機價格
可根據(jù)藍寶石減薄機不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應改變轉(zhuǎn)速。浙江打磨減薄機多少錢
減薄機研磨墊圖形大體的功能先是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過程輸送到不同的一些區(qū)域。還有另外的功能是協(xié)助將芯片表面的研磨產(chǎn)物移去。研磨墊的機械性質(zhì)影響到薄膜表面的平坦度以及均勻度,所以控制結(jié)構(gòu)及機械性質(zhì)是非常重要的。 我們通過減薄研磨的方式對晶片襯底進行減薄,從而改善芯片散熱效果,但是由于減薄后的襯底背后還存在表面損害層,殘余應力會導致減薄后的外延片彎曲且容易在后續(xù)工序中碎裂,從而影響成品率。因此在減薄后應對襯底背光進行拋光。浙江打磨減薄機多少錢
文章來源地址: http://m.cdcfah.com/cp/2888797.html
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