由于在現(xiàn)有技術(shù)中，只在每段減薄完成后對(duì)晶圓片進(jìn)行厚度測(cè)量，而每段減薄過(guò)程中設(shè)置的工藝參數(shù)并不完全精確，例如:若砂輪轉(zhuǎn)速或者砂輪的前進(jìn)速度設(shè)置的稍大，浙江電解減薄機(jī)設(shè)備，則對(duì)晶圓片的磨削將超過(guò)預(yù)期，導(dǎo)致該段減薄結(jié)束后，晶圓片的厚度小于該段設(shè)定的目標(biāo)值；或者在減薄過(guò)程中自動(dòng)減薄機(jī)出現(xiàn)故障導(dǎo)致對(duì)晶圓片造成損壞；或者其他異常問(wèn)題。所以，如果在每段減薄完成后對(duì)晶圓片進(jìn)行厚度測(cè)量，容易出現(xiàn)每段減薄完成后，浙江電解減薄機(jī)設(shè)備，晶圓片厚度的實(shí)際值與該段設(shè)定值不符的問(wèn)題，浙江電解減薄機(jī)設(shè)備，造成晶圓片的減薄良率下降。測(cè)量裝置和自動(dòng)減薄機(jī)，可以在晶圓片減薄過(guò)程中實(shí)時(shí)測(cè)量晶圓片的厚度，提高了晶圓片的減薄良率。減薄機(jī)盡量減少潔凈間的占地面積。橫向減薄機(jī)磨削均勻生產(chǎn)效率高。浙江電解減薄機(jī)設(shè)備

多工位減薄機(jī)，多工位打磨提高了生產(chǎn)效率和打磨效果，對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動(dòng)對(duì)接，同時(shí)驅(qū)動(dòng)工件軸自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，提高了打磨過(guò)程在工位切換的流暢性。它包括公轉(zhuǎn)平臺(tái)，公轉(zhuǎn)平臺(tái)上包含多個(gè)工位，其中包括至少一個(gè)材料取放工位和多個(gè)打磨工位，每個(gè)工位上均設(shè)置有工件軸，每個(gè)打磨工位均設(shè)置有毛刷組件以及用于對(duì)工件軸進(jìn)行自動(dòng)對(duì)接并驅(qū)動(dòng)工件軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的對(duì)接驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。公轉(zhuǎn)平臺(tái)包括安裝在機(jī)座上的轉(zhuǎn)盤(pán)，轉(zhuǎn)盤(pán)與多工位分割器連接，多工位分割器與轉(zhuǎn)盤(pán)驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接。浙江電解減薄機(jī)設(shè)備減薄機(jī)的首先驅(qū)動(dòng)組件包括設(shè)置在機(jī)架上的水平導(dǎo)軌和與水平導(dǎo)軌的滑塊固定連接的滑板。

硅片酸洗減薄機(jī)箱體內(nèi)支撐有旋轉(zhuǎn)提籃，旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及提手組成，圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成，半圓狀籠蓋的開(kāi)口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接，圍籠本體底面均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱，箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座，支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸相連，箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有循環(huán)水管。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、操作方便，實(shí)現(xiàn)硅片單面化學(xué)減薄，不只生產(chǎn)批量大，而且提高了成品率，節(jié)省資源，降低生產(chǎn)成本。減薄機(jī)盡量減少潔凈間的占地面積。

坂口電子機(jī)械（上海）有限公司的多工位減薄機(jī)限位裝置為螺栓，螺栓與支撐塊之間通過(guò)螺紋連接，螺栓的末端正對(duì)擺齒齒輪座的側(cè)面。毛刷組件包括立柱，立柱上設(shè)置有縱向?qū)к墸v向?qū)к壣习惭b有升降座，升降座上安裝有打磨電機(jī)，打磨電機(jī)的輸出軸連接打磨主軸，打磨主軸底部連接磨盤(pán)，升降座與升降機(jī)構(gòu)連接。升降機(jī)構(gòu)包括升降電機(jī)、與升降電機(jī)輸出軸連接的首先滾珠絲桿，首先滾珠絲桿上的螺帽與升降座上的支塊固定連接。它還包括基座，基座的上端設(shè)置有橫向?qū)к墸瑱M向?qū)к壣习惭b有滑塊，立柱固定在滑塊上。大多數(shù)的磨床是使用高速旋轉(zhuǎn)的砂輪進(jìn)行磨削加工，少數(shù)的是使用油石、砂輪等其他磨具和游離磨料進(jìn)行加工。

硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理：當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì)。為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削，提高減薄質(zhì)量，通過(guò)減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此，要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動(dòng)分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min。另外，為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下，要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國(guó)內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀：國(guó)外硅片超精密磨床制造起步較早，發(fā)展迅速，技術(shù)先進(jìn)其中美國(guó),德國(guó)，日本等發(fā)達(dá)國(guó)家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國(guó)外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動(dòng)化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。橫向減薄機(jī)平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)配置自動(dòng)厚度測(cè)量和補(bǔ)償系統(tǒng)，產(chǎn)品粗磨后移動(dòng)至精磨位置，自動(dòng)研削至目標(biāo)值。兩個(gè)砂輪軸，無(wú)需更換砂輪即可完成粗磨+精磨加工；全自動(dòng)減薄機(jī)是配有全自動(dòng)上、下片系統(tǒng)的高精度研削設(shè)備，采用晶圓機(jī)械手取片，帶有自動(dòng)對(duì)中、清洗、干燥功能，可實(shí)現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動(dòng)研削加工。減薄機(jī)可根據(jù)客戶需求定制化各類(lèi)工作臺(tái)，滿足各類(lèi)半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝；浙江有機(jī)板減薄機(jī)種類(lèi)

減薄機(jī)由吸盤(pán)、砂輪、砂輪主軸及驅(qū)動(dòng)組件、絲桿進(jìn)給組件等組成。浙江電解減薄機(jī)設(shè)備

硅片酸洗減薄機(jī)箱體內(nèi)支撐有旋轉(zhuǎn)提籃，旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及提手組成，圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成，半圓狀籠蓋的開(kāi)口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接，圍籠本體底面均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱，箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動(dòng)連接有支座，支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸相連，箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有循環(huán)水管。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、操作方便，實(shí)現(xiàn)硅片單面化學(xué)減薄，不生產(chǎn)批量大，而且提高了成品率，節(jié)省資源，降低生產(chǎn)成本。半自動(dòng)雙軸減薄機(jī)產(chǎn)品粗磨后移動(dòng)至精磨位置，自動(dòng)研削至目標(biāo)值。浙江電解減薄機(jī)設(shè)備

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