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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢,減薄機(jī)
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硅片減薄技術(shù)主要應(yīng)用于6500V高壓系列的可控硅、整流二極管、高密度二極管的生產(chǎn)工藝,單面減薄的作用是提高硅片單面的表面毫伏數(shù),以便于下一步磷擴(kuò)散工序的順利完成。目前,國內(nèi)其他企業(yè)都采用常規(guī)減薄工藝,即用磨床減薄,其存在如下問題:減薄的均勻性差,減去的厚度難以精確控制,容易碎片,江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢,而且經(jīng)過金剛砂研磨,江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢,又引入雜質(zhì),江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢,造成硅片表面態(tài)難以控制。在磨削工件與吸盤之間設(shè)置了由鋁、不銹鋼或鋁箔制成的散熱工作臺的新型的減薄機(jī)吸盤裝置,其解決了脆性材料難磨削的問題,使用方便、安全。全自動減薄機(jī)采用晶圓機(jī)械手取片,帶有自動對中、清洗、干燥功能。江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢
硅片減薄機(jī)技術(shù)的原理:當(dāng)前主流晶圓減薄機(jī)的整體技術(shù)采用了磨削原理設(shè)計(jì).為了實(shí)現(xiàn)晶圓的延性域磨削,提高減薄質(zhì)量,通過減小砂輪軸向進(jìn)給速度實(shí)現(xiàn)微小磨削深度,因此,要求設(shè)備的進(jìn)給運(yùn)動分辨率小于0.1Ixm,進(jìn)給速度1ixrn/min. 另外,為了提高減薄工藝的效率,進(jìn)給系統(tǒng)在滿足低速進(jìn)給的前提下,要盡可能實(shí)現(xiàn)高速返回。國內(nèi)外減薄機(jī)現(xiàn)狀:國外硅片超精密磨床制造起步較早,發(fā)展迅速,技術(shù)先進(jìn)其中美國,德國,日本等發(fā)達(dá)國家生產(chǎn)的硅片超精密磨床技術(shù)成熟,表示著減薄機(jī)較高水平。目前國外生產(chǎn)的減薄機(jī)具有高精度,高集成化,自動化,加工硅片大尺寸化,超薄化等特點(diǎn)。上海研磨減薄機(jī)供應(yīng)商減薄機(jī)盡量減少潔凈間的占地面積;
減薄機(jī)工件被放置在轉(zhuǎn)盤的若干個工位上,并通過傳送裝置的轉(zhuǎn)盤逐一傳送至打磨位置,驅(qū)動機(jī)構(gòu)中的首先驅(qū)動組件和第二驅(qū)動組件驅(qū)動磨頭至打磨位置處,第三驅(qū)動組件驅(qū)動磨頭轉(zhuǎn)動對轉(zhuǎn)盤位于打磨位置處的工位上的工件進(jìn)行打磨減薄。通過傳送裝置和打磨裝置之間的相互配合,加快了磨削速度,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)能。傳送裝置還包括用于驅(qū)動中心軸轉(zhuǎn)動的第二電機(jī),中心軸一端與轉(zhuǎn)盤固定連接,另一端安裝有首先齒輪,第二電機(jī)的輸出端安裝有與首先齒輪相嚙合的第二齒輪。傳送裝置還包括在轉(zhuǎn)盤對應(yīng)每個工位安裝的吸盤,轉(zhuǎn)盤上設(shè)置有與每個吸盤的安裝位置對應(yīng)的吸孔。
吸盤式晶元硅片減薄機(jī),在現(xiàn)有的酸洗減薄機(jī)的基礎(chǔ)上進(jìn)行設(shè)計(jì),通過增加能夠?qū)尉Ч杵M(jìn)行安裝固定的吸氣盤,并且配合上整體的圓形回轉(zhuǎn)式的結(jié)構(gòu),能夠通過電機(jī)驅(qū)動帶動設(shè)備進(jìn)行工作,也能通過增加密封圈防止硅片出行偏移,吸盤的強(qiáng)力吸附力,能減少硅片出現(xiàn)破裂損壞,也不會因?yàn)楣杵钠屏褜ζ渌墓杵斐蓚Γ淮涡阅軌蚣庸ざ鄠€硅片,加快加工的速度,提升加工的效率,提高產(chǎn)品質(zhì)量產(chǎn)量的同時(shí),減少運(yùn)營成本的投入。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型。橫向減薄機(jī)可用于LED藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、硅片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。
單晶硅片是由純度極高的單晶硅制成,是一種具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體,單晶硅圓片也成為晶元,是生產(chǎn)集成電路所用的載體,在集成電路的生產(chǎn)過程中起著至關(guān)重要的作用。在晶元硅片的使用過程中,有時(shí)需要對晶元表面進(jìn)行減薄處理。然而,現(xiàn)有市場上的晶元減薄機(jī)一般是直接將單晶硅片放進(jìn)清洗設(shè)備的內(nèi)部,通過直接對設(shè)備內(nèi)部加注進(jìn)行輔助加工的酸性溶液進(jìn)行工作,但是直接的擺放硅片可能會在進(jìn)行加工的過程中對其造成損傷,并且飛濺的碎屑也會對其他的硅片造成損傷,無法保證加工產(chǎn)品的質(zhì)量和加工效率,浪費(fèi)資源增加了運(yùn)營的成本。臥式減薄機(jī)是一款性價(jià)比很高的小型高精度研削設(shè)備。江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢
半自動雙軸減薄機(jī)是一款安裝兩個砂輪軸的高精度研削設(shè)備。江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢
立式減薄機(jī)主要特點(diǎn):1、吸盤根據(jù)客戶的工藝要求可分為電磁吸盤和真空吸盤,吸盤大小可根據(jù)客戶需求定制,直徑320-600mm。2、砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速可以根據(jù)不同的工藝要求由PLC控制系統(tǒng)支持的驅(qū)動模式而相應(yīng)改變轉(zhuǎn)速3000-8000轉(zhuǎn)可調(diào)。3、砂輪進(jìn)給模式分三段設(shè)置,能更方便地設(shè)置有效的減薄方案,提高減薄后的精密度和表面效果,4、對刀方式在不改變砂輪和吸盤的情況下,針對不同厚度的工件只需要一次對刀就可以連續(xù)工作,不需要每次都要對刀。江蘇彎頭減薄機(jī)多少錢
文章來源地址: http://m.cdcfah.com/cp/2801973.html
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