晶圓加工減薄機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn)：1.通過吸盤上的氣管設(shè)計(jì)，將吸盤上的吸口**分化，當(dāng)受力碎裂，無論晶圓從哪個(gè)方向裂開，都能夠被吸附，不會因?yàn)槭ノΧ袈湓谧烂嫔?，浙江手動減薄機(jī)多少錢，二次開裂。2.堵頭設(shè)計(jì)，在不使用或者減少氣管時(shí)，浙江手動減薄機(jī)多少錢，堵住吸盤的安裝孔，減少空氣粉塵地進(jìn)入造成堵塞。3.利用軟膠墊的設(shè)計(jì)，讓軟膠墊在受到晶圓本身的重力的作用下會自動陷落下去，可適應(yīng)不同尺寸厚度的晶圓，不會因?yàn)榫A中間厚兩邊薄而發(fā)生吸附力不夠直接掉落的問題。4.氣管上的海綿圈和支撐架設(shè)計(jì)，在晶圓被吸盤的時(shí)候，能適應(yīng)不同高度，和晶圓緊密結(jié)合，不會漏氣氣密強(qiáng)，吸附能力好，另外，浙江手動減薄機(jī)多少錢，海綿圈頂端面光滑，無摩擦，避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生線性缺陷。橫向減薄機(jī)磨削均勻生產(chǎn)效率高。浙江手動減薄機(jī)多少錢

高速橫向減薄機(jī)主要用途：非常適合于工件硬度比較高，厚度超薄，且加工精度要求高的產(chǎn)品。如：LED藍(lán)寶石襯底、光學(xué)玻璃晶片、石英晶片、硅片、諸片、陶瓷片、鎢鋼片等各種材料的快速減薄。工作原理：本系列橫向研磨機(jī)為精密磨削設(shè)備，由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削，金剛石磨輪前后擺動。該方法磨削阻力小、工件不會破損，而且磨削均勻生產(chǎn)效率高。特 點(diǎn)：1．可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎。而且平行度與平面度可控制在±0.002mm范圍內(nèi)。2．減薄效率高，LED藍(lán)寶石襯底每分鐘可減薄48um。硅片每分鐘可減薄250um。3．系列研磨機(jī)采用CNC程控系統(tǒng)，觸摸屏操作面板。江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格藍(lán)寶石減薄機(jī)絲桿進(jìn)給組件采用高精密絲桿及導(dǎo)軌組件，驅(qū)動方式為伺服驅(qū)動。

硅片酸洗減薄機(jī)箱體內(nèi)支撐有旋轉(zhuǎn)提籃，旋轉(zhuǎn)提籃由兩個(gè)圓形固定板、橫向連接于兩個(gè)圓形固定板之間的圓柱狀圍籠、設(shè)于兩個(gè)圓形固定板外側(cè)面的轉(zhuǎn)軸及提手組成，圓柱狀圍籠由圍籠本體、與圍籠本體鉸接的半圓狀籠蓋組成，半圓狀籠蓋的開口側(cè)邊沿與圍籠本體利用鎖扣連接，圍籠本體底面均勻間隔設(shè)置多個(gè)隔棱，箱體外側(cè)一端固定有滑道且滑道上方滑動連接有支座，支座的水平板面上固定有倒置的伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的電機(jī)軸通過傳動機(jī)構(gòu)與旋轉(zhuǎn)提籃的轉(zhuǎn)軸相連，箱體的內(nèi)側(cè)壁上另固定有循環(huán)水管。結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理、操作方便，實(shí)現(xiàn)硅片單面化學(xué)減薄，不僅生產(chǎn)批量大，而且提高了成品率，節(jié)省資源，降低生產(chǎn)成本。

一種藍(lán)寶石減薄機(jī)，該減薄機(jī)能夠快速地降低藍(lán)寶石的厚度，達(dá)到快速減薄的效果。通過對藍(lán)寶石直接進(jìn)行減薄，達(dá)到快速減薄的效果，進(jìn)一歩降低藍(lán)寶石貼片的厚度，便于后續(xù)的研磨加工，能夠極大提高藍(lán)寶石的加工效率。且本實(shí)用新型能夠均勻、批量地對藍(lán)寶石進(jìn)行減薄，提高藍(lán)寶石的加工速度，降低藍(lán)寶石的制作成本。該減薄機(jī)能夠均勻、批量地對藍(lán)寶石進(jìn)行減薄，提高藍(lán)寶石的加工速度，降低藍(lán)寶石的制作成本，為藍(lán)寶石的后期研磨提供可靠地保證。全自動減薄機(jī)采用晶圓機(jī)械手取片，帶有自動對中、清洗、干燥功能。

減薄機(jī)砂輪與硅片的接觸長度,接觸面積,切入角不變,磨削力恒定,加工狀態(tài)穩(wěn)定，可以避免硅片出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象?，F(xiàn)在直徑200mm以上的大尺寸硅片背面磨削(backgrinding)大都采用基于硅片白旋轉(zhuǎn)磨削原理的超精密磨削技術(shù)。硅片背面磨削的工藝過程：硅片背面磨削一般分為兩步:粗磨和精磨.在粗磨階段,采用粒度46# ~ 500#的金剛石砂輪,軸向進(jìn)給速度為100 ~ 500mm/min,磨削深度較大,般為0.5~11ITf1。目的是迅速去除硅片背面絕大部分的多余材料(加工余量的90%).精磨時(shí),加工余量幾微米直至十幾微米,采用粒度2000# ~4000#的金剛石砂輪,軸向進(jìn)給速度為0.5~10mm/min。臥式減薄機(jī)采用砂輪軸橫臥的安裝方式，手動裝片，通過砂輪進(jìn)給控制研削量。江蘇圓管減薄機(jī)價(jià)格

半自動雙軸減薄機(jī)產(chǎn)品粗磨后移動至精磨位置，自動研削至目標(biāo)值。浙江手動減薄機(jī)多少錢

減薄機(jī)包括機(jī)架、傳送裝置和打磨裝置，其中，傳送裝置包括可隨中心軸旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤上依次設(shè)置有若干個(gè)圍繞中心軸分布的工位，工位用于放置工件；打磨裝置包括磨頭和用于驅(qū)動磨頭運(yùn)動的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，磨頭包括轉(zhuǎn)軸和與轉(zhuǎn)軸連接的磨盤，驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在機(jī)架上的首先驅(qū)動組件、位于首先驅(qū)動組件上并可水平運(yùn)動的第二驅(qū)動組件和位于第二驅(qū)動組件上并可上下運(yùn)動的第三驅(qū)動組件，轉(zhuǎn)軸與第三驅(qū)動組件連接，以在第三驅(qū)動組件的帶動下轉(zhuǎn)動；打磨裝置設(shè)置在轉(zhuǎn)盤的上方，通過轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)盤，可使若干個(gè)工位逐一與打磨裝置的打磨位置對接。浙江手動減薄機(jī)多少錢

文章來源地址: http://m.cdcfah.com/cp/2182913.html