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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備,減薄機(jī)
***更新:2020-11-28 09:16:49
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當(dāng)前位置:首頁?產(chǎn)品供應(yīng)?機(jī)械及行業(yè)設(shè)備?光學(xué)加工機(jī)械?江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備 質(zhì)優(yōu)價廉 坂口電子機(jī)械供應(yīng)
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詳細(xì)說明
減薄機(jī)研磨墊圖形大體的功能先是研磨墊之孔隙度可以協(xié)助研磨液于研磨過程輸送到不同的一些區(qū)域。還有另外的功能是協(xié)助將芯片表面的研磨產(chǎn)物移去,江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備。研磨墊的機(jī)械性質(zhì)影響到薄膜表面的平坦度以及均勻度,江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備,江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備,所以控制結(jié)構(gòu)及機(jī)械性質(zhì)是非常重要的。 我們通過減薄研磨的方式對晶片襯底進(jìn)行減薄,從而改善芯片散熱效果,但是由于減薄后的襯底背后還存在表面損害層,殘余應(yīng)力會導(dǎo)致減薄后的外延片彎曲且容易在后續(xù)工序中碎裂,從而影響成品率。因此在減薄后應(yīng)對襯底背光進(jìn)行拋光。當(dāng)減薄機(jī)研磨拋光后厚度均勻性較差時,我們要用平面度測量規(guī)測量盤面,用小塊的砝碼重力修正。江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備
多工位減薄機(jī),多工位打磨提高了生產(chǎn)效率和打磨效果,對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動對接,同時驅(qū)動工件軸自動旋轉(zhuǎn),提高了打磨過程在工位切換的流暢性。它包括公轉(zhuǎn)平臺,公轉(zhuǎn)平臺上包含多個工位,其中包括至少一個材料取放工位和多個打磨工位,每個工位上均設(shè)置有工件軸,每個打磨工位均設(shè)置有毛刷組件以及用于對工件軸進(jìn)行自動對接并驅(qū)動工件軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)。公轉(zhuǎn)平臺包括安裝在機(jī)座上的轉(zhuǎn)盤,轉(zhuǎn)盤與多工位分割器連接,多工位分割器與轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機(jī)連接。江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備減薄機(jī)具有自動測厚補(bǔ)償、多段研削程序、超負(fù)載等待等功能,滿足各類工藝需求;
藍(lán)寶石減薄機(jī),該減薄機(jī)包括磨輪、真空吸附頭,磨輪連接于磨輪主軸上,被磨輪主軸帶動旋轉(zhuǎn),磨輪主軸則固定在磨輪控制機(jī)構(gòu)上,并連接于磨輪電機(jī);真空吸附頭連接于真空盤主軸,真空盤主軸固定工作臺上,并連接于真空盤電機(jī);磨輪、真空吸附頭設(shè)置于工作臺上,一工作室設(shè)置于工作臺中部,磨輪、真空吸附頭位置對應(yīng),且橫向設(shè)置,均位于工作室中。本實用新型,通過對藍(lán)寶石直接進(jìn)行減薄,達(dá)到快速減薄的效果,進(jìn)一步降低藍(lán)寶石貼片的厚度,便于后續(xù)的研磨加工,能夠極大提高藍(lán)寶石的加工效率。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體設(shè)備也在一代接一代的創(chuàng)新和發(fā)展,當(dāng)今半導(dǎo)體設(shè)備的制造和使用涉及50多個學(xué)科和60多種化學(xué)元素等諸多方面的高技術(shù),具有較強(qiáng)的技術(shù)綜合性。如:硅、鍺晶片(半導(dǎo)體器件),鈮、鉭酸鋰晶片(聲表面波器件),蘭寶石(LED元件)、電子陶瓷(各種傳感器)等脆性材料。脆性材料的應(yīng)用越來越極廣,尤其是在高新技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域和前端技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域發(fā)揮著不可代替的作用,半導(dǎo)體硅等材料作為集成電路制造的重要基體材料這時候的減薄機(jī)就需要發(fā)揮他的作用。藍(lán)寶石減薄機(jī)砂輪主軸采用精密的高速旋轉(zhuǎn)電主軸,驅(qū)動方式為變頻調(diào)速轉(zhuǎn)速。
晶圓加工減薄機(jī),其結(jié)構(gòu)包括遮蓋、研磨頭、開合器、吸盤結(jié)構(gòu)、機(jī)體、控制面板,機(jī)體前端面上設(shè)有控制面板,機(jī)體頂端一側(cè)活動安裝有遮蓋,遮蓋和機(jī)體之間開安裝有開合器,遮蓋內(nèi)壁正中間安裝有研磨頭,和研磨頭相對應(yīng)的機(jī)體頂端面上安裝有吸盤結(jié)構(gòu),吸盤結(jié)構(gòu)和研磨頭相互配合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有輸氣器、吸盤、氣管,吸盤位于輸氣器正上方,輸氣器和吸盤活動卡合,吸盤上設(shè)有兩個以上的氣管,氣管和吸盤活動卡合。吸盤結(jié)構(gòu)設(shè)有堵頭,堵頭和吸盤活動配合。輸氣器由抽氣管、底盤、通氣腔組成,底盤內(nèi)部設(shè)有通氣腔,通氣腔另一端貫穿底盤另一端,底盤另一端正中間設(shè)有抽氣管,抽氣管和底盤互相垂直,抽氣管和通氣腔貫通,通氣腔靠近抽氣管的那端比另一端要窄。減薄機(jī)減薄時如果研磨或者拋光的過程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤/環(huán);江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備
橫向減薄機(jī)可使工件加工厚度減薄到0.02mm厚而不會破碎。江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備
減薄機(jī)的首先驅(qū)動組件包括設(shè)置在機(jī)架上的水平導(dǎo)軌和與水平導(dǎo)軌的滑塊固定連接的滑板。首先驅(qū)動組件還包括用于驅(qū)動滑板移動的首先氣缸,首先氣缸的缸體與機(jī)架固定連接,首先氣缸的伸縮桿與滑板固定連接。第二驅(qū)動組件包括設(shè)置在滑板上的豎直導(dǎo)軌和與豎直導(dǎo)軌的滑塊固定連接的連接架,磨頭位于連接架下方且與連接架轉(zhuǎn)動連接,滑板設(shè)有可供磨頭穿過的孔。第二驅(qū)動組件還包括用于驅(qū)動連接架上下運(yùn)行的第二氣缸,豎直導(dǎo)軌一端與滑板固定連接,另一端固定有安裝板,第二氣缸的缸體與安裝板固定連接,第二氣缸的伸縮桿與連接架固定連接。第三驅(qū)動組件包括安裝在連接架上、用于驅(qū)動轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動的首先電機(jī),首先電機(jī)的輸出端和轉(zhuǎn)軸均設(shè)有齒輪且通過同步帶連接。江蘇石頭減薄機(jī)設(shè)備
文章來源地址: http://m.cdcfah.com/cp/2180396.html
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