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產(chǎn)品關(guān)鍵詞:上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格,減薄機(jī)
***更新:2020-11-06 08:23:16
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當(dāng)前位置:首頁?產(chǎn)品供應(yīng)?機(jī)械及行業(yè)設(shè)備?光學(xué)加工機(jī)械?上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格 服務(wù)至上 坂口電子機(jī)械供應(yīng)
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晶圓加工減薄機(jī)吸盤由網(wǎng)板、安裝孔構(gòu)成,上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格,上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格,網(wǎng)板為圓形結(jié)構(gòu),網(wǎng)板上兩個(gè)以上的網(wǎng)孔即為安裝孔,安裝孔和氣管活動配合。網(wǎng)板的網(wǎng)孔呈均勻等距分布,分布均勻。吸盤上還設(shè)有軟膠墊,軟膠墊和網(wǎng)板活動嵌合,軟膠墊形狀與網(wǎng)板等同,上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格,軟膠墊厚度低于網(wǎng)板厚度。氣管由海綿圈、底管、支撐架組成,底管一端銜接有一個(gè)海綿圈,海綿圈正中間嵌有支撐架,底管和通氣腔活動配合,海綿圈頂端面光滑。支撐架由圈狀的彈線圈和經(jīng)線垂直交叉形成的圈筒,彈線圈和經(jīng)線材料本身具有一定地彈性。全自動減薄機(jī)可實(shí)現(xiàn)盒到盒、干進(jìn)干出的全自動研削加工。上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格
晶圓加工減薄機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn):1.通過吸盤上的氣管設(shè)計(jì),將吸盤上的吸口**分化,當(dāng)受力碎裂,無論晶圓從哪個(gè)方向裂開,都能夠被吸附,不會因?yàn)槭ノΧ袈湓谧烂嫔?,二次開裂。2.堵頭設(shè)計(jì),在不使用或者減少氣管時(shí),堵住吸盤的安裝孔,減少空氣粉塵地進(jìn)入造成堵塞。3.利用軟膠墊的設(shè)計(jì),讓軟膠墊在受到晶圓本身的重力的作用下會自動陷落下去,可適應(yīng)不同尺寸厚度的晶圓,不會因?yàn)榫A中間厚兩邊薄而發(fā)生吸附力不夠直接掉落的問題。4.氣管上的海綿圈和支撐架設(shè)計(jì),在晶圓被吸盤的時(shí)候,能適應(yīng)不同高度,和晶圓緊密結(jié)合,不會漏氣氣密強(qiáng),吸附能力好,另外,海綿圈頂端面光滑,無摩擦,避免晶圓在切割過程中產(chǎn)生線性缺陷。浙江環(huán)保減薄機(jī)設(shè)備減薄機(jī)進(jìn)行上蠟壓片前檢查上壓盤是否處于水平位置。
多工位減薄機(jī)對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括固定座、支撐塊、工件軸驅(qū)動電機(jī)、齒輪軸、擺齒齒輪座、驅(qū)動主齒輪和驅(qū)動從齒輪,其中,工件軸驅(qū)動電機(jī)安裝在固定座上,齒輪軸與工件軸驅(qū)動電機(jī)的輸出軸連接,驅(qū)動主齒輪固定在齒輪軸上,擺齒齒輪座安裝在齒輪軸上,且擺齒齒輪座可繞齒輪軸自由擺動,驅(qū)動從齒輪安裝在擺齒齒輪座上且可自由轉(zhuǎn)動,驅(qū)動從齒輪與驅(qū)動主齒輪嚙合連接,擺齒齒輪座在遠(yuǎn)離驅(qū)動從齒輪的一端和支撐塊之間連接有彈簧,支撐塊上安裝有用于對擺齒齒輪座擺動時(shí)位置進(jìn)行限定的限位裝置。
硅片酸洗減薄機(jī)伺服電機(jī)可在支座的帶動下斷開與旋轉(zhuǎn)提籃的傳動連接,則旋轉(zhuǎn)提籃就能被順利取出箱體,以便于打開圓柱狀圍籠的籠蓋取出減薄后的硅片,操作方便;通過設(shè)于箱體內(nèi)的調(diào)溫用的耐腐蝕循環(huán)水管,實(shí)現(xiàn)酸溫測量、酸溫控制,避免了酸溫過高造成的浮膠現(xiàn)象,酸溫過低硅片腐蝕速度慢、漂片不均勻,保證了腐蝕反應(yīng)符合設(shè)計(jì)計(jì)算要求的腐蝕效率和均勻性?;瘜W(xué)減薄方式對于成品芯片壓降等動態(tài)參數(shù)的提升起到非常重要的作用,且有效的降低了磷擴(kuò)時(shí)間,達(dá)到節(jié)能的目的。橫向減薄機(jī)為精密磨削設(shè)備,由真空主軸吸附工件與金剛石磨輪作相反方向高速磨削,金剛石磨輪前后擺動。
隨著硅片直徑的增大,對硅片背面減薄的要求越來越高,但是旋轉(zhuǎn)工作臺磨削技術(shù)具有一定的局限性.1984年S.Matsui提出了硅片自旋轉(zhuǎn)磨削(waferrotatingginding)法,并開始逐漸取代旋轉(zhuǎn)工作臺磨削。硅片自旋轉(zhuǎn)磨削法采用略大于硅片的工件轉(zhuǎn)臺硅片通過真空吸盤夾持在工件轉(zhuǎn)臺的中心,杯形金剛石砂輪工作面的內(nèi)外圓周中線調(diào)整到硅片的中心位置,硅片和砂輪繞各自的軸線回轉(zhuǎn),進(jìn)行切入磨削.磨削深度t與砂輪軸向進(jìn)給速度f,硅片轉(zhuǎn)速凡的關(guān)系為:tw=HtZ。主要是消除粗磨時(shí)形成的損傷層,達(dá)到所要求的厚度,在精磨階段,材料以延性域模式去除,硅片表面損傷明顯減小。減薄機(jī)減薄時(shí)如果研磨或者拋光的過程中有明顯的細(xì)微劃痕,我們就要清洗陶瓷盤/環(huán);浙江彎頭減薄機(jī)供應(yīng)商
在減薄機(jī)使用前我們應(yīng)該檢查真空壓力值,砂輪環(huán)使用一段時(shí)間后應(yīng)該及時(shí)做修銳工作。上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格
多工位減薄機(jī),多工位打磨提高了生產(chǎn)效率和打磨效果,對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)能夠和工件軸完成自動對接,同時(shí)驅(qū)動工件軸自動旋轉(zhuǎn),提高了打磨過程在工位切換的流暢性。它包括公轉(zhuǎn)平臺,公轉(zhuǎn)平臺上包含多個(gè)工位,其中包括至少一個(gè)材料取放工位和多個(gè)打磨工位,每個(gè)工位上均設(shè)置有工件軸,每個(gè)打磨工位均設(shè)置有毛刷組件以及用于對工件軸進(jìn)行自動對接并驅(qū)動工件軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的對接驅(qū)動機(jī)構(gòu)。公轉(zhuǎn)平臺包括安裝在機(jī)座上的轉(zhuǎn)盤,轉(zhuǎn)盤與多工位分割器連接,多工位分割器與轉(zhuǎn)盤驅(qū)動電機(jī)連接。上海數(shù)控減薄機(jī)價(jià)格
文章來源地址: http://m.cdcfah.com/cp/1873608.html
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